Wondery Vacuum Plasma Ion Nitriding Furnace Heat Treatment Furnace pit type furnace
1.องค์ประกอบ
เตาเผาบำบัดความร้อนด้วยไอออนไนไตรด์ทั้งชุดประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟไอออน ตัวเตาสุญญากาศ ระบบดูดฝุ่น ระบบวัดและควบคุมอุณหภูมิ และระบบจ่ายก๊าซ
1.1 แหล่งจ่ายไฟไอออน
แหล่งจ่ายไฟไอออนแบ่งออกเป็นแหล่งจ่ายไฟ DC ไอออนและแหล่งจ่ายไฟแบบพัลส์ไอออน ซึ่งผู้ใช้สามารถเลือกได้ตามความต้องการ
(A) แหล่งจ่ายไฟ DC ไอออน
แหล่งจ่ายไฟ DC ion ส่วนใหญ่ประกอบด้วยหม้อแปลงไฟฟ้ากระแสสลับ วงจรเรียงกระแสที่ควบคุมได้ วงจรดับไฟอาร์กออสซิลเลชัน LC วงจรป้อนกลับแบบตัดและวงจรควบคุม
(B) แหล่งจ่ายไฟพัลส์ไอออน
แหล่งจ่ายไฟแบบพัลส์ไอออนเป็นเครื่องบดสับที่ประกอบด้วยส่วนประกอบ IGBT และวงจรควบคุม ซึ่งเพิ่มโดยใช้แหล่งจ่ายไฟ DC ไอออนสามารถรับกระแสพัลส์พร้อมวัฏจักรหน้าที่ที่ปรับได้ผ่านการสับ
เมื่อเทียบกับแหล่งจ่ายไฟ DC ion แหล่งจ่ายไฟแบบพัลซิ่งไอออนสามารถปรับปรุงเอฟเฟกต์แคโทดแบบกลวงได้ดีกว่า
การจ่ายไฟแบบพัลส์ไอออนจะส่งกระแสไฟกลับเป็นศูนย์ และการเรืองแสงจะดับหนึ่งครั้งในแต่ละรอบการทำงาน (เมื่อความถี่เป็น 1kHz รอบจะเป็น 1 มิลลิวินาที) ดังนั้นประสิทธิภาพการดับอาร์คจึงดีขึ้น
แหล่งจ่ายไฟพัลส์ไอออนสามารถรับรู้ถึงการควบคุมแรงดันและกระแสที่เป็นอิสระ และสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการที่แตกต่างกัน
เมื่อเทียบกับแหล่งจ่ายไฟ DC ion การประหยัดพลังงานของแหล่งจ่ายไฟแบบพัลส์ไอออนมากกว่า 20/100-25/100
1.2 ตัวเตาสุญญากาศ
ตัวเตาหลอมไอออนไนไตรด์ในพลาสมาสูญญากาศของอุปกรณ์แบ่งออกเป็นสามรูปแบบ: แบบหลุม (ส่วนที่ห้อยอยู่) แบบกระดิ่ง (การซ้อนชิ้นส่วน) และแบบรวม
ตัวเตาสุญญากาศประกอบด้วยกระบอกเตาและโครงเตาหลอม
เตาหลอมเชื่อมด้วยแผ่นเหล็กและมีโครงสร้างสองชั้น โดยมีระบบระบายความร้อนด้วยน้ำอยู่ตรงกลางพื้นผิวการปิดผนึกทั้งหมด (ร่อง) ถูกปิดผนึกด้วยวงแหวนยางสูญญากาศเตาเผาติดตั้งแผ่นกันความร้อนสแตนเลสและแผ่นแคโทดหน้าต่างสังเกตการณ์เปิดขึ้นบนกระบอกเตาหลอมช่องรับอากาศติดตั้งอยู่ที่ด้านบนของตัวเตา
แชสซีของเตาหลอมมีอินเทอร์เฟซการส่งพลังงานแคโทด อินเทอร์เฟซการวัดอุณหภูมิ อินเทอร์เฟซการวัดความดัน อินเทอร์เฟซการสกัดอากาศ ฯลฯ
อุปกรณ์ส่งผ่านแคโทดประกอบด้วยแกนแคโทด, ซีล, แผ่นฉนวน, คอลัมน์แบริ่งและปลอกหุ้มช่องว่างอากาศตะกั่วแคโทดเชื่อมต่อกับแผ่นแคโทดผ่านอุปกรณ์ส่งกำลังแคโทด
ตัวเตารักษาความร้อนแบบสุญญากาศถูกปิดผนึกอย่างดีเพื่อให้แน่ใจว่าระดับสุญญากาศที่กระบวนการต้องการ
ตามความต้องการของขนาดของชิ้นส่วนแปรรูปและกำลังการผลิต ตัวเตาสุญญากาศมีปริมาณการทำงานเพียงพอ
1.3 ระบบสุญญากาศ
ระบบดูดฝุ่นประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศแบบกลไกใบพัดหมุน โซลินอยด์วาล์วสุญญากาศ และวาล์วผีเสื้อสุญญากาศ ซึ่งเชื่อมต่อกับตัวเตาสุญญากาศผ่านท่อสุญญากาศ
เครื่องวัดความต้านทานสูญญากาศใช้สำหรับวัดระดับสูญญากาศของเตาสูญญากาศ
1.4 ระบบวัดและควบคุมอุณหภูมิ
ระบบการวัดและควบคุมอุณหภูมิประกอบด้วยเทอร์โมคัปเปิล วงจรควบคุมอุณหภูมิ และอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิเทอร์โมคัปเปิลได้รับสัญญาณอุณหภูมิมิลลิโวลต์ และอุณหภูมิของชิ้นงานจะถูกควบคุมอย่างแม่นยำผ่านการปรับ PID ของเครื่องมือควบคุมอุณหภูมิและวงจรที่เกี่ยวข้อง
1.5 ระบบจ่ายอากาศ
ระบบจ่ายก๊าซประกอบด้วยถังแอมโมเนีย ตัวลดแรงดันแอมโมเนีย โฟลว์มิเตอร์ และท่อส่งก๊าซ
เตาเผาพลาสมาไอออนไนไตรด์แบบสุญญากาศมีเครื่องวัดการไหล 2 ตัว ตัวหนึ่งใช้สำหรับควบคุมการไหลของแอมโมเนีย และอีกตัวสำหรับควบคุมการไหลของก๊าซคาร์บูไรซิ่งก๊าซทั้งสองจะถูกผสมลงในเตาเผาหลังจากผ่านเครื่องวัดการไหล และกระบวนการไนโตรคาร์บูไรซิ่ง (ไนไตรดิ้งอ่อน) สามารถทำได้โดยการปรับอัตราส่วนการไหล
2. พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของเตาสูญญากาศไนไตรด์
|
แหล่งจ่ายไฟเข้า: สามเฟส 380V 50Hz แรงดันไฟขาออก DC: ปรับได้ 0-1000v กระแสไฟขาออกขนาดใหญ่ (แหล่งจ่ายไฟ DC): กระแสไฟสูงสุด (แหล่งจ่ายไฟพัลส์): กระแสเฉลี่ย: รอบการทำงาน (แหล่งจ่ายไฟพัลส์): 0.10-0.85 ปรับได้ ความถี่พัลส์ (แหล่งจ่ายไฟพัลส์): 1000hz โหมดควบคุม (แหล่งจ่ายไฟพัลส์): ความถี่คงที่และการปรับความกว้าง รูปคลื่นเอาท์พุท (แหล่งจ่ายไฟพัลส์): คลื่นสี่เหลี่ยมสี่เหลี่ยม ปริมาณการทำงานที่มีประสิทธิภาพของตัวเตา: อุณหภูมิในการทำงาน: ≤ 650 ℃ ความจุในการชาร์จขนาดใหญ่: องศาสูญญากาศน้อยมาก: ≤ 6.67pa อัตราการเพิ่มขึ้นของแรงดัน: ≤ 0.133pa/min
|
3. เตาเผาไอออนไนไตรด์คืออะไร?
การพูดของเตาเผาไอออนไนไตรด์เราอาจจะแปลกนิดหน่อยเตาเผาไอออนไนไตรด์ทำโดยกระบวนการไอออนไนไตรดิ้งมาอธิบายกระบวนการไอออนไนไตรดิ้งอย่างละเอียดกัน
อุณหภูมิไนไตรดิ้งของเตาเผาพลาสมาไอออนไนไตรด์นั้นโดยทั่วไปแล้วจะเหมือนกับอุณหภูมิของแก๊ส โดยทั่วไปอยู่ระหว่าง 500~540℃ความแข็งของไนไตรด์ของวัสดุที่แตกต่างกันนั้นสอดคล้องกับอุณหภูมิ โดยทั่วไประหว่าง 450~540℃เมื่ออุณหภูมิสูงกว่า 590 ℃ ความแข็งจะลดลงอย่างมากเนื่องจากการสะสมของไนโตรเจน
อัตราการให้ความร้อนขึ้นอยู่กับความหนาแน่นกระแสของชั้นผิวของชิ้นงาน อัตราส่วนของปริมาตรของชิ้นงานต่อพื้นที่ทั้งหมดของชั้นผิวทำให้เกิดประกายไฟ และความซับซ้อนและค่าสัมประสิทธิ์การกระจายความร้อนของชิ้นงานลดการเสียรูปและอัตราการให้ความร้อนไม่เหมาะสำหรับเร็วเกินไป โดยทั่วไป 150 ~ 250 ℃/hอุณหภูมิการถือครองควรคงที่และความผันผวนควรมีน้อยความเสถียรของอุณหภูมิในการจับยึดนั้นสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับแรงดันและแรงดันของเตาหลอมตามความดันเตาหลอมที่เสถียร ความหนาแน่นกระแสจะเสถียร เพื่อปรับปรุงความเสถียรของอุณหภูมิฉนวนความหนาแน่นกระแสมีเสถียรภาพตามแรงดันคงที่ เพื่อปรับปรุงความเสถียรของอุณหภูมิฉนวน
ระยะเวลากักเก็บไนโตรเจนรั่วขึ้นอยู่กับวัสดุของชิ้นส่วนไนไตรด์และความหนาและความแข็งของชั้นไนไตรด์ช่วงเวลาของฉนวนมีตั้งแต่สิบนาทีถึงหลายสิบชั่วโมงเมื่อเวลาไนไตรดิ้งอยู่ภายใน 20 ชั่วโมง ไอออนไนไตรดิ้งจะมากกว่าก๊าซไนไตรดิ้งอย่างมีนัยสำคัญเมื่อเวลาไนไตรด์สูงกว่า 20 ชม. อัตราการรั่วไหลของไนโตรเจนทั้งสองประเภทจะใกล้เคียงกันจะเห็นได้ว่าอิออนไนไตรดิ้งเหมาะสำหรับชิ้นงานที่มีชั้นไนไตรดิ้งน้อยกว่า 0.5 มม. มากกว่าเมื่อความลึกของชั้นไนไตรดิ้งอยู่ที่ 0.2 ~ 0.5 มม. โดยทั่วไปจะอยู่ที่ 8 ~ 20 ชม.
