Wondery ที่กำหนดเองสูญญากาศเตา Nitirding เตาความร้อนรักษา Overs
1.ลักษณะของกระบวนการไอออนไนไตรดิ้ง:
ไอออนไนไตรดิ้งเป็นกระบวนการบำบัดความร้อนด้วยสารเคมีในบรรยากาศที่มีไนโตรเจนในสุญญากาศต่ำ โดยที่ตัวเตาเป็นแอโนดและชิ้นงานที่จะรับการบำบัดเป็นแคโทด แรงดันไฟฟ้ากระแสตรงหลายร้อยโวลต์จะถูกนำมาใช้ระหว่างแอโนดและแคโทดเพื่อทำให้ไนไตรดิ้งปล่อยแบบเรืองแสงที่ผลิตโดยกระบวนการไอออนไนไตรดิ้งมีหลายชื่อ เช่น ไอออนไนไตรดิง ไนไตรดิ้งปล่อยเรืองแสง ไนไตรดิ้งทิ้งระเบิดไอออน ไนไตรดิ้งในพลาสมา ฯลฯ อุปกรณ์ที่ดำเนินการกระบวนการไนไตรดิ้งไอออนนี้เรียกว่าเตาพลาสมาไนไตรดิ้ง เตารักษาความร้อนไนไตรด์ หรือเตาพลาสมาไอออนไนไตรดิ้ง
2.อะไรคือลักษณะทางเทคนิคของไอออนไนไตรดิ้ง?
2.1 ลักษณะเฉพาะของเทคโนโลยีไอออนไนไตรดิ้ง ได้แก่ การทิ้งระเบิดด้วยไอออน การทำความสะอาดด้วยสปัตเตอร์ และการกระตุ้นด้วยพลาสม่าการกระตุ้นด้วยไอออนเป็นการรับประกันขั้นพื้นฐานสำหรับการก่อตัวของชั้นไนไตรดิ้งคุณภาพสูง และการแพร่กระจายของการกระตุ้นจะดำเนินไปตลอดกระบวนการทั้งหมดของไอออนไนไตรด์ไอออนกระตุ้นและสลายอะตอม NH3, N2 และ H2 เพื่อผลิตไอออนที่ออกฤทธิ์ในเวลาเดียวกัน การกระตุ้นด้วยไอออนของพื้นผิวชิ้นงานทำให้เกิดข้อบกพร่องขนาดเล็กจำนวนมากและพื้นผิวที่ถูกกระตุ้น ซึ่งทำปฏิกิริยากับพื้นผิวที่ถูกกระตุ้นเพื่อสร้างชั้นไนไตรด์บนพื้นผิวที่ถูกกระตุ้นดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญมากในการควบคุมและปรับสภาพการกระตุ้นไอออนการศึกษาความร้อนจากการทิ้งระเบิด ปฏิกิริยาสปัตเตอร์ และผลการกระตุ้นการปล่อยแสงเพื่อการพัฒนาและปรับปรุงเตาเผาไอออนไนไตรด์มีความสำคัญอย่างยิ่ง
2.2 เราศึกษากระบวนการของชั้นสารประกอบที่เกิดจากเตาเผาไอออนไนไตรดิ้ง และพบว่าโครงสร้างเฟสของชั้นสารประกอบที่เกิดจากไอออนไนไตรดิ้งและก๊าซไนไตรดิ้งแตกต่างกัน เนื่องจากกลไกของการก่อตัวของชั้นสารประกอบต่างกันชั้นสารประกอบไอออนไนไตรดิ้งของ 38CrMoAl Steel ประกอบด้วยเฟส ส่วนใหญ่เป็นเฟส โดยมีประมาณ 25 เฟสบนพื้นผิว ในขณะที่ชั้นสารประกอบไนไตรดิ้งของแก๊สประกอบด้วยเฟส และพื้นผิวไม่มีเฟสหากตัวอย่างถูกกระตุ้นโดยอาร์กอนไอออนสปัตเตอร์เป็นเวลา 4H ล่วงหน้า จากนั้นดำเนินการอิออนไนไตรเดชั่นที่ 5506h เฟสพื้นผิวจะลดลงจาก 55 เป็น 45 เฟสพื้นผิวเพิ่มขึ้นจาก 25 เป็น 42 และเฟสจะลดลงจาก 20 ถึง 13 จะเห็นได้ว่าตัวอย่างที่ถูกกระตุ้นโดยไอออนสปัตเตอร์จะเพิ่มจำนวนเฟสในชั้นสารประกอบที่พื้นผิว และลดการก่อตัวของเฟสในระหว่างการทำไนไตรดิ้ง
3.พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| แบบอย่าง | WDL30A | WDL50A | WDL75A | WDL100A | WDL150A | WDL300A |
| กำลังโหลด (กก.) | 300 | 600 | 1000 | 1500 | 2500 | 4000 |
| พื้นที่ผิวชิ้นส่วน | 3.0m2 | 5.0m2 | 7.5m2 | 10.0m2 | 15.0m2 | 20.0m2 |
| ขนาดการทำงานที่มีประสิทธิภาพ |
600*800mm (เส้นผ่านศูนย์กลาง*สูง) |
700*1000 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลาง * สูง) |
1000*1200มม. (เส้นผ่านศูนย์กลาง*สูง) |
1200*1400มม. (เส้นผ่านศูนย์กลาง*สูง) |
1400*1600mm (เส้นผ่านศูนย์กลาง*สูง) |
1600*2000 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลาง * สูง) |
| อุณหภูมิในการทำงาน | ≦650℃ | |||||
| องศาสูญญากาศ | ≤ 6.67 ต่อปี | |||||
| อัตราการเพิ่มขึ้นของความดัน | ≤ 0.133pa/นาที | |||||
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิของเครื่องมือ | ±1℃ | |||||
